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化合物半導體絕緣披覆:光電+電子元件 台灣半導體大突破 / 聯合晚報 2010.11

這篇實在是太難懂了,以我的背景(大學念電機)實在是看不太懂。
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【聯合晚報╱記者林進修/台北報導】 2010.11.17 03:24 pm

台灣半導體製程又有重大突破,清華大學參與的國際研究團隊利用磊晶層轉移技術,成功將各種化合物半導體材料轉移到矽基基板上,完成化合物半導體材料絕緣披覆技術,未來可望把光電及電子元件整合在一起,讓台灣半導體產業更具競爭力。

這項關鍵性技術的突破,獲得學術界高度肯定,研究成果刊登在11月出版的最新一期國際頂尖期刊「自然」 (Nature)。清大校長陳力俊中午率該校研究團隊出席國科會記者會,和國人一起分享研究成果。

參與這項研究的清大材料系助理教授闕郁倫表示,台灣的矽基半導體幾占全球六成以上市場。台積電日前宣布40奈米製程正式量產後,正積極朝向32奈米量產開發,甚至遙指22奈米技術開發,為的就是繼續維持競爭優勢。

然而,矽基半導體製程技術已開始面臨製程微縮極限的瓶頸,在絕緣上覆矽是最可行的解決方法之一,化合物半導體就被視為是最好的高效能光電半導體材料。

為了將化合物半導體整合在現階段的矽基半導體製程,全球材枓科學家均全力以赴,清大和美國加州大學柏克萊分校、美國勞倫斯柏克萊國家實驗室及美國新墨西哥大學合作,利用分子束磊晶技術,把一顆顆銦、鎵堆積在基材上形成一層薄膜,再以黃光微影製程技術形成一個銦化鎵奈米帶。

闕郁倫表示,這種化合物半導體絕緣層披覆技術,可以整合光電及電子元件於矽基材上面,具有不需任何接合處理、增加基材使用率、增加元件操作速度、降低元件功能消耗、元件尺寸奈米化等優點,也成功克服化合物半導體整合矽製程技術問題,是半導體製程的一大突破。